TEM介紹及其在半導體失效分析中的應(yīng)用

簡要描述：

近年來，隨著半導體行業(yè)飛速發(fā)展，相關(guān)產(chǎn)品關(guān)鍵結(jié)構(gòu)尺寸的進一步微納米化，透射電鏡逐漸開始作為半導體失效分析的有力工具。為了讓用戶對透射電鏡相關(guān)內(nèi)容有進一步的了解，此次公開課特意邀請英國曼徹斯特大學材料學博士、廣電計量半導體技術(shù)副經(jīng)理劉辰開展主題為《透射電鏡原理介紹及其在半導體失效分析中的應(yīng)用》線上公開課。（TEM介紹及其在半導體失效分析中的應(yīng)用）

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更新日期：2025-03-19

價格：

詳細介紹

品牌	廣電計量	課程形式	線上直播
課程時間	2023-3-30 上午9:30	講師	英國曼徹斯特大學材料學博士劉辰
課程價格	免費

透射電子顯微鏡（TEM）于1932年左右發(fā)明，是一種以波長極短的電子束作為電子光源，利用電子槍發(fā)出的高速的、聚集的電子束照射至非常薄的樣品，收集透射電子流經(jīng)電磁透鏡多級放大后成像的高分辨率、高放大倍數(shù)的電子光學儀器。

透射電鏡具有分辨率高、可與能譜儀等其他技術(shù)聯(lián)用的優(yōu)點，在物理、化學、生物學和材料學等多個領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。近年來，隨著半導體行業(yè)飛速發(fā)展，相關(guān)產(chǎn)品關(guān)鍵結(jié)構(gòu)尺寸的進一步微納米化，透射電鏡逐漸開始作為半導體失效分析的有力工具。

4nm制程芯片TEM成像圖

為了讓用戶對透射電鏡相關(guān)內(nèi)容有進一步的了解，此次公開課特意邀請英國曼徹斯特大學材料學博士、廣電計量半導體技術(shù)副經(jīng)理劉辰開展主題為《透射電鏡原理介紹及其在半導體失效分析中的應(yīng)用》線上公開課。屆時，報名用戶不僅能免費參與課程，聽課期間還有專業(yè)的技術(shù)專家團隊為大家進行現(xiàn)場答疑。